PFC气体是指**全氟化合物**或**部分氟化合物**，是一类工业气体。它们具有持久性和生物累积性，能够引起全球变暖。在半导体制造领域，PFC主要在CVD工序中作为清洁气体使用和在干法刻蚀工序中作为工艺气体使用。
我的 pfc气体是什么意思 我来答 1个回答 #热议# 普通人应该怎么科学应对『甲流』?小涵系列813 2023-03-22 · 超过70用户采纳过TA的回答 知道答主 回答量:190 采纳率:100% 帮助的人:37.7万 我也去答题访问个人页 关注 展开全部 已赞过 已踩过< 你对这个回答的评价是? 评论 收起 推荐律师...