PFC气体是指**全氟化合物**或**部分氟化合物**，是一类工业气体。它们具有持久性和生物累积性，能够引起全球变暖。在半导体制造领域，PFC主要在CVD工序中作为清洁气体使用和在干法刻蚀工序中作为工艺气体使用。
搜索答案 我要提问 pfc气体是什么意思 我来答 首页 用户 认证用户 视频作者 帮帮团 认证团队 合伙人 企业 媒体 政府 其他组织 商城 法律 手机答题 我的 pfc气体是什么意思 我来答 1个回答 #热议# 普通人应该怎么科学应对『甲流』?小涵系列813 2023-03-22 · 超过70用户采纳...
其范畴包括二氧化碳(CO2)、甲烷(CH4)、氮氧化物 (N2O)、氢氟碳化物(HFC)、全氟化物(PFC)和六氟化硫 (SF6)。 ▶什么是生命周期评价的概念? 生命周期评价LCA (Life Cycle Assessment)被称作90年代的环境管理工具, 是近年来西方国家酝酿发展起来的一种崭新环境影响评价方法, 目前尚处于探讨研究阶段。
8.5利用吸收分离两组分气体混合物,操作总压为310kPa,气、液相分传质系数分别为kmol/(m·s)、kmol/(m·s),气、液两相平衡符合亨利定律,关系式为(p*的单位为kPa),计算:(1)总传质系数;(2)传质过程的阻力分析;(3)根据传质阻力分析,判断是否适合采取化学吸收,如果发生瞬时不可逆化学反应,传质速...