4.而现有opc配方(opc recipe)在对版图进行修正时,由于其算法通常更多考虑主图形的修正效果,而对不符合完全opc覆盖标准要求的这些特殊字符修正后可能产生的锯齿状问题并没有特别好的处理方法。 5.因此,需要提供一种新的opc修正的技术方案,以解决现有技术中在opc修正过程中对于特殊字符图形修正后产生锯齿状,形貌不规则...
1、传统的光学邻近效应修正(optical proximity correction,opc)流程首先是输入版图,然后根据全版图编写用于版图光刻工艺热点修正的opc recipe,然后进行光刻仿真热点检测,如果还存在光刻工艺热点,继续返回修改opc recipe,最终完成版图上所有热点的修正,并输出修正热点后的全版图图形。 2、传统的opc流程中,可能出现由于没有收...
我是负责OPC Recipe的，也就是OPC最终端，使用相关软件对光罩图形进行修正。在OPC修正之前，首先是使用光...
光刻opc工程师的工作日常是什么样子?我是负责OPC Recipe的，也就是OPC最终端，使用相关软件对光罩图形进...
我是负责OPC Recipe的,也就是OPC最终端,使用相关软件对光罩图形进行修正。 在OPC修正之前,首先是使用光罩进行曝光,收集相关数据,在不同数据对比中,确定最佳Focus和dose。然后数据交给负责建立OPC model的工程师,build model。Model相当于OPC的一把尺。后来就交给Recipe run OPC OPC之前的版图是preOPC,也就是design部...
(review)时不能够高效的识别出logic区域或者sram区域的亚规则(sub rule)图形的设计问题点和规则上(on rule)图形opc修正不到位导致的高风险点,不利于及时发现版图设计问题和opc修正异常问题,影响最终的产品良率,尤其是在大芯片(chip)报错量较多时更易漏掉版图设计异常以及由设计异常或者opc菜单(recipe)设置不优化导致...
Next, the OPC recipe was optimized on these layouts, with a resulting reduction in the number of hotspots. For experimental validation, the layouts were placed on a test mask, and the predicted hotspots were compared with hardware data.Ayman Hamouda...
我是负责OPC Recipe的,也就是OPC最终端,使用相关软件对光罩图形进行修正。 在OPC修正之前,首先是使用光罩进行曝光,收集相关数据,在不同数据对比中,确定最佳Focus和dose。然后数据交给负责建立OPC model的工程师,build model。Model相当于OPC的一把尺。后来就交给Recipe run OPC OPC之前的版图是preOPC,也就是design部...
OPC for the Wind Industry OPC Dynamic Recipe Loading OPC for the Power Industry OPC for SmartGrid OPC for DCS Migrations OPC to OPC UA Migration 详细>> OPC安全 OPC安全网关 详细>> FLEX OPC UA SDK FLEX OPC UA SDK FLEX UA Mobile Explorer 详细>>...
序号流程名称opccemstdpids作业说明使用表单制程需求masktoolinginformationds对客户的数据进行处理dsftp传输到opctapeoutoutputreporttablerunopc根据制程规格run相应的opcrecipe参考附录二opc和ds同时把数据ftp传输到msopc把opc处理的数据传输到mstapeoutoutputreporttableds把原始的数据传输到msmstapeoutreticle根据ce的floorplan...