EPD 算法,便可得到EPD 信号,用于控制刻蚀机,以 结束对该晶片的刻蚀工艺,或是转入到下一道工艺.常 用的OES 终点检测步骤是:(1)采用数字滤波器对谱 线进行平滑处理,滤除谱线当中的毛刺,以避免算法发 生误判;(2)采用神经网络算法对主刻过程中的谱线进 ...
The EPD time/etch bias are correlative with the POP scores (R~2 =0.85/0.86) at Cr etchinng and this means that the POP scores can be used as an indicator of process drift during photomask Cr etch. We can use the POP scores as a parameter of SPC interlock and can take an effectiv...
“我是说 在座的各位 都是 ”雷神爆炸状态dms古典职业赛, 视频播放量 7609、弹幕量 10、点赞数 106、投硬币枚数 2、收藏人数 31、转发人数 3, 视频作者 古典大学生, 作者简介 定期跟新“全球健美圈”视频谢谢大家的支持?,相关视频:雷英琪VS姜皓 姜牢二天天口嗨雷诺,
人物简介: 龚惠祥,曾担任上海点莘技术有限公司等公司高管。 老板履历 图文概览商业履历 任职全景图 投资、任职的关联公司 商业关系图 一图看清商业版图 更新时间:2024-11-07关联企业0 担任法定代表人0 担任股东0 担任高管0 所有任职企业0 作为最终受益人0 所属集团0 历史信息2 曾担任法定代表人 曾担任股东 ...