TEOS—O3系常压CVD技术 多层布线化学汽相沉积四乙氧基硅烷臭氧摘要:松浦正纯不详陈学珍不详vip微电子技术
We previously reported that organic solvent (ethanol) treatment of a film formed by plasma enhanced chemical vapor deposition (PE-CVD) remarkably improved the gap-filling property of O-3-tetraethylorthosilicate (O-3-TEOS) atmospheric pressure chemical vapor deposition (AP-CVD) film. Based on these...
TEOS—O3常压CVD膜形成技术TEOS—O3常压CVD膜形成技术 吉村正树;黎铭 【期刊名称】《微电子技术》 【年(卷),期】1994(022)004 【总页数】6页(P23-28) 【作者】吉村正树;黎铭 【作者单位】不详;不详 【正文语种】中文 【中图分类】TN405.97 【相关文献】 1.TEOS等离子CVD膜形成中加氟气体的效果 [J], ...
ここでは,TEOS/O3 APCVD特 性 の下地依存性 を 中心 に,他 の有機 シ リコンソー スとオ ゾンによる常圧 CVD膜 の特性 について述べ る.doi:10.1541/IEEJFMS1990.111.7_652K. FujinoK. Maeda... K Fujino,K Maeda - 《Ieej Transactions on Fundamentals & Materials》 被引量: 2发表: 1991年...
ND:YAG纳米粉体混合与高纯度氧化铝球使用乙醇24小时为0.5%tetraethylorthosilicate(TEOS)作为烧结助剂。然后,酒精溶剂碾米浆干燥烘箱中被拆除,并在流动氧气为20 h,800℃煅烧除去残留的有机物质。 翻译结果2复制译文编辑译文朗读译文返回顶部 翻译结果3复制译文编辑译文朗读译文返回顶部 ...
The Nd:YAG nanopowders were blended with the high-purity Al2O3 balls for 24 h in ethanol using 0.5 wt.% tetraethylorthosilicate (TEOS) as a sintering aid. Then, the alcohol solvent was removed by drying the milled slurry in oven, and residual organic material was removed by calcining at ...
问:如何判断小腹疼痛,坠涨,是肠炎还是妇科炎症?(女,30岁) 答:有拉肚子,那首先考虑是肠炎,可以用点针对肠炎药物治疗一下。甘油灌肠可以缓解便秘,治疗上,抗生素应该不是主要的,马来酸曲美布汀片+金双歧片,另外一定要注意饮食,稍稍清淡一点,可以用左氧氟沙星,假如
有一种执着叫满山遍野看山花#春暖花开奔你而来 #踏春赏花 #抖音带你去赏花 #放飞心情拥抱大自然 #春已至花已开愿山河无恙人间皆安 有一种执着叫满山遍野看山花#春暖花开奔你而来 #踏春赏花 #抖音带你去赏花 #放飞心情拥抱大自然 #春已至花已开愿山河无恙人间皆安 137 如果你没时间来万峰林看油菜花,或者...
DEPOSITION OF O3-TEOS OXIDE FILM AND DEPOSITION APPARATUSPROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a method for depositing an O3-TEOS oxide film and a deposition apparatus for depositing a predetermined substance film including the O3-TEOS oxide film.KIN DOKYO...
O3TEOS oxide film evaporation manner and evaporation devicePROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a method for depositing an O3-TEOS oxide film and a deposition apparatus for depositing a predetermined substance film including the O3-TEOS oxide film.金 度亨...