IT之家 12 月 19 日消息,日本先进逻辑半导体制造商 Rapidus 宣布,其购入的首台 ASML TWINSCAN NXE:3800E 光刻机已于当地时间昨日在其北海道千岁市 IIM-1 晶圆厂完成交付并启动安装。这也是日本境内首次引入量产用 EUV 光刻设备。Rapidus 首席执行官、日本政府代表、北海道及千岁市地方政府代表、ASML 高管、荷兰...
正如Computerbase所发现的那样,ASML本周交付了其第一台更新的Twinscan NXE:3800E光刻机,用于晶圆厂安装。NXE:3800E是该公司0.33数值孔径(Low-NA)光刻扫描仪系列的最新版本,旨在制造2nm和3nm制程芯片。ASML尚未公布有关该设备功能的全部细节,但该公司之前的路线图表明,更新后的3800E将提供更高的晶圆吞吐量和...
ASML公司,作为全球领先的半导体制造设备供应商之一,最新推出的Twinscan NXE:3800E,代表了低数值孔径极紫外(EUV)光刻技术的最新突破,为2纳米及以上处理器的制造提供了前所未有的性能和效率。 2纳米新型高数值孔径的极紫外光刻机的成本超过1亿美元,历经十年的科学研究和系统工程。由于其巨大尺寸,需要分别安装在250个单...
IT之家 3 月 27 日消息,据荷兰媒体 Bits&Chips 报道,ASML 官方确认新款 0.33NA EUV 光刻机 ——NXE:3800E 引入了部分 High-NA EUV 光刻机的技术,运行效率得以提升。根据IT之家之前报道,NXE:3800E 光刻机已于本月完成安装,可实现 195 片晶圆的每小时吞吐量,相较以往机型的 160 片提升近 22%。...
IT 之家 12 月 19 日消息,日本先进逻辑半导体制造商 Rapidus 宣布,其购入的首台 ASML TWINSCAN NXE:3800E 光刻机已于当地时间昨日在其北海道千岁市 IIM-1 晶圆厂完成交付并启动安装。这也是日本境内首次引入量产用 EUV 光刻设备。 Rapidus 首席执行官、日本政府代表、北海道及千岁市地方政府代表、ASML 高管、荷...
ASML是唯一生产EUV光刻机的公司,这次Rapidus购入的是TWINSCAN NXE:3800E系统。如果试产2nm芯片顺利,Rapidus可能会在接下来计划中的第二间工厂内采用1.4nm工艺,并加大EUV光刻机的购买量。为了支持Rapidus的运营,ASML在当地还设立了服务中心。Rapidus是由索尼、丰田、NTT、三菱、NEC、铠侠和软银等八家日本企业于...
IT之家 3 月 13 日消息,光刻机制造商 ASML 宣布其首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 已完成安装,新机型将带来更高的生产效率。▲ ASML 在 X 平台上的相关动态 IT之家查询发现,ASML 官网尚未上线 Twinscan NXE:3800E 的信息页面。除了正在研发的 High-NA EUV 光刻机 Twinscan EXE 系列,ASML 也...
IT之家 3 月 27 日消息,据荷兰媒体 Bits&Chips 报道,ASML 官方确认新款 0.33NA EUV 光刻机 ——NXE:3800E 引入了部分 High-NA EUV 光刻机的技术,运行效率得以提升。根据IT之家之前报道,NXE:3800E 光刻机已于本月完成安装,可实现 195 片晶圆的每小时吞吐量,相较以往机型的 160 片提升近 22%。...
12 月 19 日消息,日本先进逻辑半导体制造商Rapidus宣布,其购入的首台ASMLTWINSCAN NXE:3800E 光刻机已于当地时间昨日在其北海道千岁市 IIM-1 晶圆厂完成交付并启动安装。这也是日本境内首次引入量产用EUV 光刻设备。 Rapidus 首席执行官、日本政府代表、北海道及千岁市地方政府代表、ASML 高管、荷兰驻日本大使等相关...
NXE:3800E光刻系统通过降低EUV多重曝光(patterning)的总体成本,NXE:3800E初期能达30mJ/cm²,约每小时195片晶圆产能,最后能提升到每小时220片晶圆,吞吐量比NXE:3600D提高30%。 价值3亿美元的高数值孔径EUV光刻机受关注 去年12月,ASML向英特尔交付了业界首台数值孔径达到0.55的EUV光刻设备Twinscan EXE:5000,目前,...