型号 NSR-SF120 加工定制 是 新旧程度 二手 技术方案对接 是 库存数量 1 最大CD均匀性 50nm 曝光区域尺寸 25mm*33mm 解析度 280nm 数值孔径 (NA) 0.62 曝光光源 i线(365 nm) 投影放大比率 1:4 对准精度 ≤35nm 货期 7~180天 显示 液晶显示 品牌 尼康Nikon 价格说明 价格:商品在爱...
NSR-SF120 咨询 热线 :021-50381269,0573-84983063 网站首页 关于我们 产品中心 新闻中心 解决方案 联系我们 DECORARION PRODUCT 产品中心 详细描述 相关产品 更多产品 +
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NSR-SF120的设计方式类似于扫描型KrF步进器NSR-S204B、NSR-S205C和NSR-S206D,以及ArF步进器NSR-S305B和NSR-S306C。新开发的高数值孔径镜头使i-line分辨率飞跃至280 nm。该系统可以有效地暴露次临界层以支持130-100 nm设备节点,同时为300 mm时代提供高吞吐量。
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2003 Nikon NSR SF200 used Manufacturer:Nikon Model:NSR As-is Chamber Type: ASAHI Reticle Size: 6" Field Size: 26 RL library: L 10+10 Reticle Barcode Reader: - Reticle Case Barcode Reader: - Reticle PD/PPD: YES Reticle SMIF: No Wafer size: 150mm Wafer Chuck ... ...