型号 NSR-S322F 加工定制 是 新旧程度 二手 方案设计 是 最大分辨率 65nm 曝光光源 193nm ArF 产能 230片/h 是否现货 是 库存数量 1 技术方案对接 是 用途 半导体制造 镜头NA 0.92 SMO*1重合精度 ≤2nm 投影比例 1:4 SMO*2重合精度 ≤5nm 品牌 尼康Nikon 价格说明 价格:商品在爱采购...
尼康Nikon ArF扫描光刻机NSR-S322F装载了在液浸式装置中取得优秀业绩的StreamlignPlatform,同时进一步提高了重合精度与生产效率。满足了客户对生产线实现高精度与稳定量产的需求。 主要特点: ●Bird’s Eye Control重合精度的大幅度提高 ・ 通过高精度编码器与以往的干涉仪构成的混合系统,实现了最佳工作台性能 ・ ...
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