Throughput 产出≧ 176 wafers/hour (76 shots) KrF扫描光刻机“NSR-S210D”通过装载取得业绩的串联台,生产效率比以往机型提高了20%。实现了每小时生产176片300mm晶圆的高产出,更将对准精度提高至9nm以下。以高生产效率、高精度实现110nm以下设备的量产。
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