型号 NSR-2205i11D 加工定制 否 新旧程度 二手 库存数量 999 解析度 ≤350nm 曝光功率 687.439mW/c㎡ 曝光均匀度 1.258 % 晶圆尺寸 8英寸 吞吐量 63wph 产品名称 i线光刻机 类型 光刻机 产地 青岛 可售卖地 全国 品牌 Nikon 价格说明 价格:商品在爱采购的展示标价,具体的成交价格可能因商...
光刻机对准系统对准方式对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,NSR2205I14E2型光刻机的对准方式包括LSA和FIA,分析LSA与FIA的对准方式原理,比较各自的硬件结构以及对应功能.了解这些知识将对设备维护,降低对准报错率,提高套刻精度等有着重要帮助.doi:CNKI:SUN:SBGX.0.2018-11-055宛文峰新型功率半导体器件国家重点实验室...