NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达6"旋转平台,支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-3000(M)磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达6"旋转平台,支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达6"旋转平台,支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。 NSC-3000(A)带有14”立方形铝质腔体,3个2...
NSC3000 的默认地址为 128,N3100 电源的地址为 1 和 2。 NSC3000 后面板 OUT+和 OUT-为电流输出端口。 本系统通过软件远程控制,暂不支持面板操作。 N3100 系列电源 RS-485 通讯接口定义 用户可以定制选择 RS-485通讯接口。以下图表表示了为两种 界面引脚定义: 脚位1 2 3 4 5 6 7 8 RS-485 引脚定义...
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