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使用紫外光刻制作石墨烯微米带,光刻胶为负性胶NR9-3000PY。 在紫光强光照射下,会有持续性降低的光电流 上面的曲线为器件在紫光照射下的响应,光开一秒关一秒。总体上电流呈下降态势,在无光时会稍微反弹,最终形成锯齿状的曲线。... 查看原文 光刻技术加工 后会被保留,被掩模版遮挡而未受到光照的地方会被显影...
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