所述载台固定设置在支撑座上;所述支撑座的下方与同步轮相连;所述载台下方设置防止载台歪斜的固定支撑块所述固定支撑块固定设置在装置本体上晶圆片在巡边寻找 notch 口定位时,本实用新型装置可以平稳地旋转,本实用新型通过固定支撑块防止载台在在旋转的过程出现歪斜。 本文源自:金融界 作者:情报员
3.根据权利要求1所述的一种晶圆notch切口倒角用晶圆定位槽倒角磨头的制造方法,其特征在于,锥形可拆卸分体模具的组合过程包括以下步骤: 4.根据权利要求1至3任一项所述的一种晶圆notch切口倒角用晶圆定位槽倒角磨头的制造方法,其特征在于:所述烧结保护套采用高强度铸铁。 5.根据权利要求4所述的一种晶圆notch切口倒角用...