选取目前最常用的RCA清洗法和NCW清洗法分别对同批次加工的砷化镓抛光片进行清洗,使用X射线光电子谱对晶片表面杂质成分进行测试,对表面颗粒,有机物和金属3种杂质类型进行量化对比,分析两种清洗方法对3种杂质的去除能力.结果显示:表面活性剂对于有机物的去除效果比乙醇略强.基于双氧水的强氧化性和砷,镓氧化物更易溶于...
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