NANONEX公司提供从各种纳米压印机到纳米压印胶和模版的全套纳米压印方案 ,具备低成本,高通量,大面积,三维纳米压印,亚10纳米分辨率,精确的对准等无与伦比的技术和质量优势。NANONEX提供全部纳米压印方案(热固化、紫外固化和压印)。NANONEX专利保护的双面气垫软压技术(ACP)具备独特的优势:不论模版或基板背面粗糙程度如何,...
Patented Air Cushion PressTM (ACP) for ultimate nanoimprint uniformity All forms of nanoimprint: photo-curable, thermoplastic & embossing High throughput due to full-wafer impriting: sub-60 sec/wafer Optional alignment upgrade available Smart Sample Holder for handling different sizes and irregular sh...
Nanonex纳米压印系统,产品概述NX-2600整片基板带对准可多层次纳米压印加高分辨率光刻系统经过了 大量的实时实地验证,质量可靠,性能优越稳定。具备全部压印模式: 热固化、紫外固化和压印。基于独特专利保护的Nanonex气垫软压技术 (ACP
详细介绍 Nanonex纳米压印系统NX-2500 产品特点: 1、 热塑化 2、 紫外固化 3、 热压与紫外压印同时进行 4、 热固化 5、气垫软压技术(ACP) 6、NanonexZG技术 7、 WM的整片基板纳米压印 均匀性 8、高通量 9、低于10nm分辨率 10、亚1微米对准精度
4″/5″/6″模版可用于标配纳米压印5、系统8”模板可升6、基板装载标配纳米压印系统可装载4″基板6″和8″基板可选各种尺寸及不规则形状模板及基7、板均可压印独特利保护ACP技术可限8、度保护基板和模板,特别对于象磷化铟(InP)等易碎模板和 基板给予限度保护。 来源:深圳市科时达电子科技有限公司...
NX-B100/B200整片基板纳米压印系统经过了大量的实时实地验证,质量可靠,性能优越稳定。具备全部压印模式:热固化、紫外固化和压印。基于独特专利保护的Nanonex气垫软压技术(ACP),不论模版或基板背面粗糙程 度如何,或是模版或基板表面波浪和弧形结构,NX-B100/B200均可对其校 正补偿从而获得无与伦比的压印均匀性, ACP消...
5、气垫软压技术(ACP)6、Nanonex专利技术7、 完美的整片基板纳米压印 均匀性8、高通量 9、低于10nm分辨率10、亚1微米对准精度 11、快速工艺循环时间(小于60秒) 灵活性12、4″, 6″, or 8″压印面积可选择各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印 13、方便用户操作14、基于超过12年、15代产品开发经验的自动...