给出了Al-Cl-N-H体系的一组关联反应,探讨了化学气相淀积过程的关联反应热力学特性.根据Gibbs自由焓最小的原则,研究了Al-Cl-N-H体系的平衡组成.Al-Cl-N-H体系合成AlN超... 李春忠,胡黎明,姚光辉,... - 《华东化工学院学报》 被引量: 0发表: 1992年 ...