MSP-300B型全自动测控溅射镀膜机的镀膜参数包括:样片数量及尺寸为6片Ф2英寸(垂直溅射)+ 1片Ф4英寸(共溅射);溅射材料可以是金属、非金属、化合物等薄膜材料;溅射腔体为高真空系统;溅射不均匀性在≤±3%-±5%之间;磁控靶有2-4支,可调角度和距离;溅射方向可以是样品下置(自上而下溅射)或样品上置(自下而上溅...
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