2月21日消息，今天佳能宣布推出半导体制造用晶圆测量机“MS-001”，该产品可以对晶片进行高精度的对准测量。该产品可以在晶片运送至半导体光刻设备之前统一完成大部分的对准测量，减轻在半导体光刻设备中进行对准测量操作的工作量。佳能表示，“MS-001”所搭载的调准用示波器安装有区域传感器，可以进行多像素测量，降低测量...
佳能中国官微消息，佳能将于2023年2月21日推出半导体制造用晶圆测量机“MS-001”，该产品可以在晶片运送至半导体光刻设备前统一完成大部分的高精度对准测量，减轻在半导体光刻设备中实施对准测量操作的工作量。
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7.1《顾客信息处理单》XX-MS-001-R001 7.2《顾客信息登记表》XX-MS-001-R002 7.3《顾客清单》XX-MS-001-R003 7.4《合同订单一览表》XX-MS-001-R004 7.5《订单(合同)评审表》XX-MS-001-R005 7.6《口头/电话订单》XX-MS-001-R006 7.7《生产通知单》XX-MS-001-R007 7.8《顾客/供方财产登记表》XX-MS...
2月 21 日,佳能推出了半导体制造用晶圆测量机“MS-001”,该产品可以对晶片进行高精度的对准测量。 ▲ MS-001 据介绍,“MS-001”所搭载的调准用示波器安装有区域传感器,可以进行多像素测量,降低测量时的噪音。另外,“MS-001”还可以对多个种类的对准标记进行测量。
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