🌟 新一代RTP设备,直径200mm的晶片处理专家! 🔧 上下横流结构(卤素灯)与均热化装置,确保面内温度均匀性。 🌀 支持200mm晶片,可在真空(LP)环境或N2负载锁定气氛下处理。 🤖 多轴洁净机器人,实现高精度搬运,提升生产效率。 📈 最大可连续处理50片晶片,耐真空设计的石英管,确保气体置换可靠性。 🛠...
新设备：Φ200mm兼容RTP设备、制造商：日本制造商 简介：～Φ支持200mm晶片，也可以在真空（LP）环境·N2负载锁定气氛下进行处理。采用上下横流结构（卤素）和均热化装置，提高了面内温度均匀性。特点：～Φ支持宽至200mm的晶片尺寸，可通过多轴洁净机器人进行高精度的搬运和提高生产率，最大可进行50片连续处理，...
300/200mm RTP tool.Introduces the 3000 Steam system, a 300/200mm rapid thermal processing tool designed for volume production of devices from STEAG Electronic Systems Incorporated. Features; Capabilities.EBSCO_bspSolid State Technology
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