1.气体质量流量计MFM(Mass flowmeter),流量计用于气体流量的测量。流量计工作原理是利用流动的气体与热源之间热量交换原理,在流量计内设置热源,根据气体流过热源时发生的热量变化,得到气体的质量流量。 2.气体质量流量控制器MFC(Mass flow controller),MFC是在测得气体流量的基础上,最后与设...
国产MFC崛起：青岛芯笙再度引领本土技术创新 近日，青岛芯笙微纳电子科技有限公司（简称“青岛芯笙”）在气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）方面取得重大突破，攻克了长期以来阻碍国产半导体级MFC发展的关键技术壁垒，成功开发出基于高速压电比例阀的两款半导体级MFC产品，产品具有极高的精度、可靠性以及5倍...
近日,青岛芯笙微纳电子科技有限公司(简称“青岛芯笙”)在气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)方面取得重大突破,攻克了长期以来阻碍国产半导体级MFC发展的关键技术壁垒,成功开发出基于高速压电比例阀的两款半导体级MFC产品,产品具有极高的精度、可靠性以及5倍于现有产品的稳定性。 为什么要发展半导体级MFC? MF...
今日,我们将深入探讨一款与流体工艺应用场景紧密相连的关键零部件Mass Flow Controller(MFC)质量流量控制器。它不仅在多个领域中扮演着核心角色,更是精确控制气体流量的关键装置,广泛应用于半导体、光伏、生物医药及工业等多个领域。 在半导体工艺的环节中,气体存在于每个环节中,它助力清洗、气相沉积、热处理和刻蚀等操作...
质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。 质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值...
差压式多气室流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一种用于精确控制气体流量的仪器。它利用了差压传感器的原理,通过测量进出两侧的压差来计算气体流量,并通过控制阀门的开闭来调节流量大小。相比于传统的节流阀方式,差压式MFC具有更高的准确性和稳定性。 差压式MFC的工作原理是基于流体动力学定律的。当气体通过流量...
今日,我们将深入探讨一款与流体工艺应用场景紧密相连的关键零部件Mass Flow Controller(MFC)质量流量控制器。它不仅在多个领域中扮演着核心角色,更是精确控制气体流量的关键装置,广泛应用于半导体、光伏、生物医药及工业等多个领域。 在半导体工艺的环节中,气体存在于每个环节中,它助力清洗、气相沉积、热处理和刻蚀等操作...
气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）通常包含电磁阀作为执行机构，用于调节气体的流量。电磁阀是一种基于电磁原理工作的装置，可以通过控制电流来打开或关闭阀门，从而控制气体的流动。在气体质量流量控制器中，电磁阀的作用是根据控制电路的指令，调节阀门的开度，从而控制气体的质量流量。当控制电路检测到与...
在精密制造与科研探索的广阔舞台上,质量流量控制器(Mass Flow Controller,简称MFC)以其无可替代的角色,默默守护着每一份气体流量的精准与稳定。无论是半导体芯片的微观世界,还是化学工程的宏观反应,亦或是科研实验室的前沿探索,MFC都是那把衡量与调控的“金钥匙”。