其工作原理如下: 一、基本结构 流量传感器 MFC 内部通常采用热式质量流量传感器。这种传感器基于热传导原理工作。它有两个温度传感器(RTD,电阻温度探测器)和一个加热元件。 加热元件位于两个温度传感器中间。当气体流过时,带走热量,根据热量传递的原理,气体流速不同,带走热量的速度也不同,进而导致两个温度传感器之间...
工作原理：流体通过流量传感器的加热元件时，加热元件两端的温度差会随流体流速变化。传感器通过测量这个温度...
工作原理：这种MFC通过测量固定体积的流体经过某种结构的时间间隔来计算流量。常见的机构包括旋转式叶轮或活...