MEMS 微镜阵列由半导体工艺实现,MEMS 微镜单元由反射镜、驱动结构和电互联组成,镜面直径约几百微米,驱动结构驱动 MEMS反射镜实现二维偏转,从而实现光路偏转功能;常见的驱动方式有磁电驱动、静电梳齿驱动及热电驱动等,磁电驱动采用洛伦兹工作原理,微镜单元的线圈在电流通过时,磁场产生洛伦兹力驱动镜面旋转,驱动电压较低...