未来MEMS红外窄带光源的发展将围绕提高光源效率、增强器件结构与性能的稳定性、进一步缩小器件尺寸和降低成本等方面,致力于实现更加精准稳定的窄带发射光谱。此外,MEMS红外窄带热光源完全兼容标准COMS材料和工艺,可为新一代高度集成的片上光源开辟道路,还可以通过与其他传感器或器件进行集成,从而实现更复杂的成像和检测应用。
未来MEMS红外窄带光源的发展将围绕提高光源效率、增强器件结构与性能的稳定性、进一步缩小器件尺寸和降低成本等方面,致力于实现更加精准稳定的窄带发射光谱。此外,MEMS红外窄带热光源完全兼容标准COMS材料和工艺,可为新一代高度集成的片上光源开辟道路,还可以通过与其他传感器或器件进行集成,从而实现更复杂的成像和检测应用。
未来MEMS红外窄带光源的发展将围绕提高光源效率、增强器件结构与性能的稳定性、进一步缩小器件尺寸和降低成本等方面,致力于实现更加精准稳定的窄带发射光谱。此外,MEMS红外窄带热光源完全兼容标准COMS材料和工艺,可为新一代高度集成的片上光源开辟道路,还可以通过与其他传感器或器件进行集成,从而实现更复杂的成像和检测应用。
大多数超表面热发射器采用金属-绝缘体-金属(MIM)配置,细金属周期性阵列实现超表面结构,对红外波段光有电磁共振响应。当MEMS红外光源通过热辐射将电磁波传递给超表面时,符合电磁共振的电磁波在超表面共振并辐射,其余波段光不共振辐射,实现波长选择性发射。 2012年,Jun Tae Song等人提出基于TiN/SiO₂/TiN三层夹层结构...