MEMS 器件种类众多,主要分为 MEMS 传感器和 MEMS 执行器。MEMS 传感器是用来检测物理、化学或生物现象的器件,它可以感知和测量物体的特定状态和变化,并按一定规律将被测量的状态和变化转变为电信号或者其它可用信号;MEMS 执行器则是用来产生机械运动、力和转矩的器件,它将控制信号转变为微小机械运动或机械操作。 图1 ...
我国的生物医药领域使用MEMS传感器的频率较高，主要可用于临床化验、健康指数的检测等多项内容。使用的MEMS传感器主要为压力传感器、微型流体传感器等多种系统。将MEMS传感器应用到医用口服液当中，可通过口服方式将芯片送入人体，实现对身体目标器官的检验与分析。此外，还可发挥MEMS传感器的吸附作用，逐渐消除人体内存在的...
MEMS芯片具有体积小、功耗低、集成度高、成本低等优势,因此在许多应用场景中得到了广泛的应用。本文将针对mems芯片的应用场景进行深入探讨。 一、移动设备领域 MEMS芯片在移动设备领域有着广泛的应用。例如,加速度传感器是MEMS芯片的一种重要应用,它可以用于手机、平板电脑等设备中的智能屏幕旋转功能,可以根据设备的倾斜...
鉴于GPS接收器的接收限制,MEMS传感器对室内行人航位推算应用很有吸引力,因为这些传感器大多数已经出现在智能手机内。 要想取得5%的室内行人航位推算定位误差,需要开发MEMS传感器整合算法,以修正每个传感器的缺陷,使这些传感器实现优势互补。随着MEMS传感器的性能不断提高,在不远的将来,与用户无关的SINS/GPS一体化导航系...
MEMS传感器的应用领域 除了智能手机,MEMS传感器将会在 AR/VR、可穿戴等消费电子,智能驾驶、智能工厂、智慧物流、智能家居、环境监测、智慧医疗等物联网领域广泛应用。 1、可穿戴设备应用 以小米手环为例,就用到了ADI的MEMS加速度和心率传感器来实现运动和心率监测。 Apple Watch内部除了MEMS加速度计、陀螺仪、MEMS麦克...
在可穿戴应用中,MEMS传感器可实现运动追踪、心跳速率测量等。 医疗领域,通过MEMS传感器成功研制出微型胰岛素注射泵,并使心脏搭桥移植和人工细胞组织成为现实中可实际使用的治疗方式。 2. 汽车工业中的应用 汽车电子产业被认为是MEMS传感器的第一波应用高潮的推动者,MEMS传感器在汽车上应用的快速发展主要是受益于各国政府全...
MEMS传感器的主要应用领域主要有: 一、汽车应用 MEMS传感器在汽车领域的应用十分重要,它的机械结构受力紧凑模糊,它的消融特性灵活多变,它的量程覆盖范围广泛,它耐受恶劣环境条件,并具有性能稳定,精度高,响应速度快,受力时无回差,成本低等优点。因此它可以应用在汽车车辆发动机中检测油耗,应用在变速器里检测车辆瞬时行车...
得益于日益成熟的技术，MEMS传感器在各类电子产品上快速普及，我们身边的智能手机、平板电脑等几乎所有电子设备无不包含，然而大部分人对MEMS技术还是比较陌生的。MEMS技术的应用主要有传感器和执行器两部分，本文是一篇比较严肃的MEMS技术科普文章，作者是MEMS技术博士，然而文中深入浅出，并没有深奥到难以看懂，并且配有...
微机电系统（MEMS）是一种透过半导体相关的制程步骤，如黄光微影、薄膜沉积、掺杂、以及蚀刻等，在硅晶圆上制作微小机械结构的技术，也可以进一步和微电子元件整合，建构完整的机电系统，实现微型化的机械结构、传感器、和驱动器，并应用于生、光、机、电等多元的范畴。微机电系统借由半导体制程所带来的微缩、集成、以及...
MEMS应用领域广泛，包括智能汽车、智能家居、智能工厂、健康医疗、智慧社区等多个领域。根据赛迪咨询的数据，2019年中国 MEMS 整体市场规模达到597.8亿元(包括设计、代工、封测)，同比增长 18.3%。中国是世界主要的电子器件消费大国，每年消耗近一半的 MEMS器件，未来国产替代空间大，MEMS代工自主可控重要性将愈发凸显。...