在整个大的信息系统里有点类似于人的感官系统,例如MEMS麦克风芯片相当于人的耳朵,可以感知声音;MEMS扬声器芯片相当于人的嘴巴,可以发出声音;MEMS加速度计、陀螺仪、磁传感器芯片相当于人的小脑,可以感知方向和速度;MEMS压力芯片相当于人的皮肤,可以感知压力;MEMS化学传感器相当于人的鼻腔,可以感知味道和温湿度。没有MEMS...
MEMS的主要工作原理是利用微小机械结构来实现物理效应的转换和传感,从而实现各种功能。 MEMS中最常见的指南针传感器的工作原理是基于霍尔效应。微小的磁场传感器使用三个互相垂直的霍尔元件来测量外部磁场的大小和方向。当外部磁场作用于传感器时,霍尔元件中的载流子受到洛伦兹力的作用,产生电位差,从而测量磁场的大小和方向...
这方面的一个子系统就是MEMS(微电系统)。MEMS器件兼具电子和机械部件,这意味着其中至少有一种可移动或可形变的部件,而电则是其运作的必需部分。另一个子系统称为MEOMS(微光机电系统),基于微电子光学的系统。顾名思义,这种器件中至少有一个部件是光学组件。采用MEMS或MEOMS方法制造的传感器,大都是三维器件,其尺...
由于 MEMS 传感器中复杂的极微小型机械系统的存在，MEMS 传感器的芯 片设计和工艺研发必须紧密配合。一方面，制造端已有的工艺路线在很大程度上 决定了芯片的设计路线；另一方面，芯片的设计路线又需要对制造端的工艺模块 进行重组和调试。因此，MEMS 传感器的研发企业必须同时进行芯片和工艺端的 研发。MEMS Fabless 经营...
MEMS的工作原理主要基于微机械结构和微电子元件的相互作用。微机械结构是MEMS的核心,它由微型传感器和微型执行器组成。微型传感器可以将机械、热、光、声、化学等各种信号转换为电信号,而微型执行器则可以将电信号转换为机械、光、热等各种形式的能量输出。微电子元件则是用于控制和处理传感器采集到的信号,以及驱动执行...
MEMS压力传感器原理 目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。 硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的,具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器,如无压力变化,其输出为零,几...
MEMS 加速度计 加速度传感器是最早广泛应用的MEMS之一。MEMS,作为一个机械结构为主的技术,可以通过设计使一个部件(图15中橙色部件)相对底座substrate产生位移(这也是绝大部分MEMS的工作原理),这个部件称为质量块(proof mass)。质量块通过锚anchor,铰链hinge,或弹簧spring与底座连接。
温度传感器的工作原理: 温度传感器通常利用热敏元件(如铂电阻、热电偶等)来测量温度。当环境温度变化时,热敏元件的电阻值或电动势会发生变化。 通过测量电阻值或电动势的变化,可以计算出温度的大小。此外,MEMS温度传感器还可能利用化学反应或微裂纹的开合来感知温度变化,并将其转换为电信号输出。
下面是一些常见的MEMS原理: 1.微加工技术:MEMS器件通常是通过光刻和微加工技术制作的。这些技术允许制造出微米级别的机械结构和电子元件。 2.机械传感器:MEMS器件中最常见的一类是机械传感器,用于感知物理量如压力、加速度、温度等。典型的机械传感器包括压力传感器、加速度传感器和陀螺仪等。 3.微操控器件:除了传感器,...