MCVD沉积机理 •沉积的机理一般认为是热泳机理：即顺着温度梯度下降的方向沉积。•在燃烧器的上方，管壁的温度高于管子中心的温度，所以反应包络面中生成的玻璃体均向管子中心集中，但燃烧器的下游，管壁温度比管子中心低。当玻璃体被工艺气流载带到下游时，就在燃烧器所在位置下游的管壁沉积下来。沉积示意图 工艺气流 等温线 温度梯度方向沉积处 反应
MCVD沉积机理 •沉积的机理一般认为是热泳机理：即顺着温度梯度下降的方向沉积。•在燃烧器的上方，管壁的温度高于管子中心的温度，所以反应包络面中生成的玻璃体均向管子中心集中，但燃烧器的下游，管壁温度比管子中心低。当玻璃体被工艺气流载带到下游时，就在燃烧器所在位置下游的管壁沉积下来。沉积示意图 工艺...
玻璃化的要求 MCVD工艺是一种在同一台设备上几乎同时进行沉积和烧结的工艺。当燃烧器往下游移动,经过刚沉积上去的疏松体时,又将疏松体玻璃化成透明的玻璃体。 玻璃化的要求是:燃烧器经过后的石英管仍要是透明的。 燃烧器到达基管尾部后,又迅速返回到基管头部,开始下一遍沉积和玻璃化。 塌缩要求 沉积完芯层的...
MCVD工艺原理PPT课件 什么是MCVD?•MCVD是ModifiedChemicalVaporDeposition的简称，译称改良的化学气相沉积法。该预制棒生产方法是由美国AT&TBell实验室和英国南安普敦大学于二十世纪七十年代初期首先提出的。•由于它在制备不同种类的光纤上具有很强的灵活性，所以如今它已经成为生产高品质通讯光纤用预制棒的四大主要方法...