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MBE分子束外延 设备用途 分子束外延主要研究的是不同结构或不同材料的晶体和超晶格的生长。该法生长温度低,能严格控制外延层的层厚组分和掺杂浓度。 设备组成 该系统主要由真空获得系统、外延生长系统(外延室)、快速进样系统(进样室)、高能电子衍射系统、电器控制系统、计算机控制系统等组成。
MBE(分子束外延)是一种在半导体材料表面逐层生长单晶薄膜的技术。在MBE设备中,外延片是生长单晶薄膜的关键部件。外延片通常是由高质量的单晶材料制成,如硅、锗、砷化镓等。在外延生长过程中,外延片被放置在MBE设备的生长室中,通过精确控制分子束或原子束的流量和能量,使它们在外延片表面逐层生长出所需的单晶薄膜。
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