以表面轮廓功率谱密度为例进行简要说明。表面轮廓的功率谱密度,是对采集的表面轮廓数字信号作傅立叶变换,并将得到频谱平方乘以采样密度的结果。利用功率谱密度表征超精密加工表面,可以区分表面轮廓中包含的不同频率成分(空间波长),并且可以评价各个频率成分(空间波长)的强弱。二维功率谱密度不仅包含二维表面的频率信息,还...