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m-2000v椭偏仪的参数包括:光谱范围为370-1000nm,有390个数据点。测量时间最快为0.05s,典型为1到5s(370-1000nm全光谱范围)。入射角为65度固定。样品台大小为150mm水平样品台,自动Z轴高度。光斑尺寸有普通光斑和微光斑,普通光斑直径约4mm,微光斑直径根据不同型号有所不同,一般为150μm或220μm。该椭偏仪主要...