1)LS120A-C时2)C规格时3)L规格还可以使用稀释气体。用途 LS系列有两种规格。首先是面向清洁工艺的规格。为内置ECO-SHOCK的低功耗型,适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。具体来说,包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。 其次是面向轻工艺的规格。具有表面处理和净化功能,适于水蒸汽和挥发性药液排气等轻...
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