招标组织方式:其他项目名称:合肥晶合集成电路有限公司12吋炉管立式低压氮化硅生长快速升降温Mini Batch工艺(LP SiN)生产机台和12吋晶圆厂炉管立式低压四乙氧基硅烷生长工艺(LP TEOS)生产机台项目编号:0613-登录即可查看>4/0412吋炉管立式低压氮化硅生长快速升降温Mini Batch工艺生产机台和12吋晶圆厂炉管立式低压四...