ASYST SMIF LPT2200接口模块 PDF资料 1.产品资料介绍:中文资料:ASYST SMIF LPT2200 是由 Asyst Technologies 公司推出的一款晶圆传输系统,旨在实现半导体制造过程中晶圆的自动化、高效、安全传输。主要特点:高精度传输:采用先进的运动控制技术,确保晶圆在传输过