lithius涂胶显影设备是在光刻工序中和光刻机配套使用的机器,主要起到涂胶、烘烤和显影的作用。涂胶显影设备是集成电路生产过程中不可获缺的设备,能够直接影响到光刻工序中曝光图案的形成。 涂胶显影设备主要应用在晶圆生产中的前道EUV光刻中,以及后道的封测和LED制造中,在晶圆生产中起到重要作用 在全球市场中,涂胶显影...
涂胶显影设备在集成电路生产中扮演关键角色，它与光刻机配套使用，负责涂胶、烘烤及显影工序，直接影响曝光图案形成。此设备广泛应用于晶圆生产的前道EUV光刻、后道封测以及LED制造，对晶圆生产有重要影响。全球涂胶显影设备市场高度集中，主要由日本东京电子、日本迪恩士、台湾亿力鑫、德国苏斯微、韩国CND等企...
ꄴ前一个:DNS ꄲ后一个:TEL Clean Track - ACT12
SubstratesSi, Glass, PlasticSi, GlassSi, GlassSi, GlassSi, Glass Additional featuresFlexible configuration for multiple application, High reliability & productivity based on LITHIUS Pro™ Z systemHigh productivity & process performance, Low particle wafer transfer system, ...