运动参数 10 ⾏程 16 mm 11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s 12 驱动电压 Max. 200 V 13 最⼤负载 300 g 14 最⼤推⼒ 3 N 传感器(闭环) 15 位置传感器 电阻传感 16 传感器⾏程 16 mm 17 传感器分辨率 ~ 150 nm 18 重复定位精度 1 - 2 um 压电线性位移台Linear25-z-LR由北京卓立汉...