LIGA(X 射线深层光刻、电铸成型和微复制)和 UV-LIGA 技术 是 MEMS 微细加工中两种十分重要的技术。在微机械领域常需要用到具有一定厚度和 高深宽比的微结构,LIGA 与 UV-LIGA 技术是制作这种微结构的重要手段。UV-LIGA 技术的工艺过程与 LIGA 技术基本相同,只是不需要用同步辐射 X 线源,而用常规的紫 外光...
由于UV-LIGA车轮消除了齿隙,因此不需要卡簧,从而减少了运动上的摩擦载荷和车轮下不必要的磨损。也就是说,由于弹性的骨架齿的啮合更紧密,UV-LIGA轮组的摩擦力稍大一些。但摩擦力的增加微乎其微,并不会影响机芯的动力储备。 渐进式创新 像UV-LIGA轮组件这样的几乎不可见的、渐进式升级证明了劳力士对其机芯不断改善...
通称为准LIGA技术或LIGA-like技术。如，用紫外光源曝光的UV-LIGA技术，准分子激光光源的Laser-LIGA技术和用微细电火花加工技术制作掩模的MicroEDM－LIGA技术.用DRIE工艺制作掩模的DEM技术等等。其中，以SU-8光刻胶为光敏材料，紫外光为曝光源的UV-LIGA技术因有诸多优点而被广泛采用。
在生产手表零件时,UV紫外线照射更为实用和常见,这就是为什么该过程在钟表制作中通常被称为UV-LIGA。这项工艺能够制作出令人难以置信的形状,是现代半导体制造技术的产物,称为微机电系统(MEMS)。MEMS技术的发展始于1960年代,随着半导体技术的发展而发展起来。MEMS是对微观机械和电子元件的融合,这项技术最近在微机械方面...
LIGA是一种基于光刻、电镀和成型三大步骤的微纳制造技术,主要用于高宽比微结构的批量生产。其核心优势在于利用深X射线光刻实现亚微米级横向精
uv-ligaUV-LIGA技术标准工艺 上海交通大学微纳米科学技术研究院 UV-LIGA技术采用基于SU8光刻胶的厚胶紫外光刻工艺,大大降低了LIGA技术的加工成本,缩短了加工周期,并且可以制备台阶微结构,但其技术指标低于同步辐射LIGA技术,适用于加工深度小于500μm,线宽大于5μm,深宽比小于20的微结构。 一、设备情况 溅射机:...
UV-LIGA技术:利用适当厚度的紫外光刻胶结合紫外光刻技术替代原有的X射线曝光的技术,可以节约成本。 Laster-LIGA:采用193nm的ArF准分子激光器直接烧蚀光刻胶PMMA来取代原有的X射线光刻,这种技术的有点是成本更低,其精度为微米级,深宽比适中(<10)。 DEM技术:DEM是Deep-etch,Electro-forming,microreplication的缩写,...
mems_su8 LIGA UV-LIGA工艺技术 硅微机械加工技术 SU-8负胶在MEMS中的应用 微机械加工技术 秦明 SU-8的特点 •低成本负胶可用于MEMS•相对简单的制作工艺•厚度变化范围大–7500A-450um•电镀金属等可以形成各种结构•坚膜后的胶可以作为阻挡层用于90°C的KOH、FeCl3溶液中的腐蚀•可以作为DRIE的阻挡...
“LIGA”指的是用于制造高宽比微结构的一种制造技术。此术语源自德语的"Lithographie + Galvanoformung + Abformung"，代表光刻、电镀和成型。LIGA技术包含三个主要步骤：光刻、电镀和成型。当前主要有两种LIGA制造技术：X射线LIGA和UV LIGA。X射线LIGA使用同步加速器产生的X射线，而UV LIGA则使用紫外线...