MEMS工艺(7LIGA技术)MEMS工艺——LIGA加工工艺 梁庭 3920330(o)Liangting@nuc.edu.cn 主要内容 ••••••••LIGA掩模版制造工艺X光深层光刻工艺微电子铸工艺微复制工艺准LIGA技术UV－LIGA技术牺牲层LIGA技术LIGA套刻技术 LIGA工艺 •LIGA是德文Lithographie，Galvanofomlung和Abformung三个词，即...
1、 MEMS MEMS工艺工艺 LIGA加工工艺梁梁 庭庭 3920330(o) L主要内容 LIGA掩模版制造工艺掩模版制造工艺 X光深层光刻工艺光深层光刻工艺 微电子铸工艺微电子铸工艺 微复制工艺微复制工艺 准准LIGA技术技术 UVLIGA技术技术 牺牲层牺牲层LIGA技术技术 LIGA套刻技术套刻技术LIGA 工艺 LIGA是德文Lithographie,Galvanofom...
MEMS工艺7LIGA技术.ppt,MEMS工艺—— LIGA加工工艺 主要内容 LIGA掩模版制造工艺 X光深层光刻工艺 微电子铸工艺 微复制工艺 准LIGA技术 UV-LIGA技术 牺牲层LIGA技术 LIGA套刻技术 LIGA 工艺 LIGA是德文Lithographie,Galvanofomlung和Abformung三个词,即光刻、电铸和注塑
1会计学MEMSLIGA LIGALIGA掩模版制造工艺掩模版制造工艺 XX光深层光刻工艺光深层光刻工艺 微电子铸工艺微电子铸工艺 微复制工艺微复制工艺 准准LIGALIGA技术技术 UVUV--LIGALIGA技术技术 牺牲层牺牲层LIGALIGA技术技术 LIGALIGA套刻技术套刻技术 LIGALIGA是德文是德文LithographieLithographie,,GalvanofomlungGalvanofomlun...
The mechanism is of a slider-crank type. The actuator consists of trigger, rotational module, and micro biopsy tool. The core components are fabricated using the LiGA process, for overcoming the limitations in accuracy of conventional precision machining.IFAC Symposium on Mechatronic Systems...
LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用
宁波市节能技术(DOC X页) 现代教育技术练习(doc X页) 纳米技术在蜜饯加工中的应用研究 基于SystemView的差错控制技术研究(doc X页) 液晶的起源(doc X页) 交流的基础(doc X页) ppt课件-liga工艺及其在微机电系统中的应用 liga process and its application in mems 纳米技术在生活中的应用.doc...
1引言 在微机电系统(MEMS)制造技术中,UV2LI2GA是面向非硅材料制造高深宽比微结构的主要加工技术。与LIGA相比,UV2LIGA工艺成本较低,在微齿轮、微模具和微流控芯片等加工中广泛应用[124],推动了以金属微结构为基础的微系统的发展。 微电铸是UV2LIGA的关键工艺,研
The LIGA process which is based on a combination of deep lithography and replication processes, allows one to generate three dimensional microstructures from metals, polymers, glasses and ceramic materials. Accordingly, application specific materials can be chosen for a wide variety of LIGA microdevices...
Ultra Violet (UV)-LIGA process was performed by nickel electroplating with the mold fabricated through the proposed process to confirm the SU-8 as a good electroplating mold. Introduction High aspect ratio in microstructure means many advantages for Micro EectroMechanical System (MEMS) applications. ...