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到目前为止,获得高真空的zui为主要以及zui为普遍的工具之一,即为扩散泵,一般指的是油扩散泵。扩散泵为一种次级泵,其需要机械泵来被用作前级泵。油扩散泵为一种真空泵 目录 1.扩散泵2.扩散泵最新文章3.扩散泵历史 4.扩散泵原理5.扩散泵主要问题6.扩散泵预防方法 ...
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(1)扩散泵的原理:在前级真空泵所造成的低真空条件下,加热泵内硅油,使受热沸腾蒸发,生成蒸气,以极高速度通过该泵的各级喷口的缝隙喷出,使容器内部的气体分子扩散到蒸汽中被带到前级真空泵所能作用的位置,由前级真空泵迅速抽出,使系统达到高真空的要求。