KS-FT200/300系列堆叠式高产能前道涂胶显影机,为我司自主研发的突破晶圆前道28nm工艺节点及以上工艺制程,适用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC,SOC,SOD,SOG等多种材料涂覆显影工艺的机台。支持与光刻机联机作业。该系列机台通过各种行业认证,占地面积小、可靠性高、易于维护,满足各种功能芯片制程需求。 详情介绍 ...
KS-FT200/300系列堆叠式高产能道涂胶显影机,为我司自主研发的突破晶圆道28nm工艺节点及以上工艺制程,适用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC,SOC,SOD,SOG等多种材料涂覆显影工艺的机台。支持与光刻机联机作业。该系列机台通过各种行业认证,占地面积小、可靠性高、易于维护,满足各种功能芯片制程需求。 2.产品优势: 1...
KS-FT200/300系列堆疊式高產能前道塗膠顯影機,為我司自主研發的突破晶圓前道28nm工藝節點及以上工藝制程,適用於ArF、KrF、I-Line、PI、BARC,SOC,SOD,SOG等多種資料塗覆顯影工藝的高端機台。 支持與光刻機聯機工作。 該系列機台通過各種行業認證,占地面積小、可靠性高、易於維護,滿足各種功能晶片制程需求。 产品...
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