SP1-DLS 设备详细信息 模型描述 评论 ID:9202491 晶圆大小:12" Unpatterned surface inspection system, 12" Defect sensitivity on polished bare silicon: 0.050 µm Enhanced rough film sensitivity ARGON Ion laser: 488 nm Defect map and histogram with zoom RTDC (Real Time Defect Classification) Map to...
Surfscan SP1DLSPro: 针对≥90nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统 下载产品手册 Surfscan SP1TBIPro: 针对≥130nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统 下载产品手册 显示详细资料 KLA拥有一套适用于先进晶圆制造的综合性缺陷检测和晶圆几何系统,包括附加的 Surfscan®无图案晶圆检测系统。
Lumentum 0224471-001 21152263 2214-30SLKTC Argon-New - Lumentum KLA 6XX0, SP1 (not SP1-TBI or DLS JDSU 094650 1103P-0613 Laser Tube Assembly SFS-4500 Power Supplies ManufacturerKLA PN Part NoModelDescriptionWorks with Pic Melles Griot 05-LPM-911-065 Laser Power Supply Gaertner Ellipsometer ...
Surfscan SP1DLSPro: 针对≥90nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统 下载产品手册 Surfscan SP1TBIPro: 针对≥130nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统 下载产品手册 显示详细资料 2835, 2367 Pro 宽带等离子图案晶圆缺陷检测系统 2835和2367 Pro宽带等离子缺陷检测系统提供了业界公认的光学图案缺陷检测性能,能够在≥45nm的...
Surfscan SP1DLSPro: 针对≥90nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统 下载产品手册 Surfscan SP1TBIPro: 针对≥130nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统 下载产品手册 显示详细资料 KLA拥有一套适用于先进晶圆制造的综合性缺陷检测和晶圆几何系统,包括附加的 Surfscan®无图案晶圆检测系统。