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在美国西部半导体展览会前,KLA-Tencor公司(纳斯达克股票代码:KLAC)近日为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统:3900系列(以前称为第5代)和2930系列宽波段等离子光学检测仪、Puma™ 9980激光扫描检测仪、CIRCL™5全表面检测套件、Surfscan® SP5XP无图案晶圆缺陷检测仪和eDR7280™电子束检查和分类工...
革命性的 3900 系列宽波段等离子光学检测仪采用新型超分辨率深紫外线 (SR-DUV) 波长范围和光刻机级别的机台精准性产生卓越的光学分辨率,经证实能够侦测 10 纳米以下缺陷。2930 系列宽波段等离子光学检测仪采用 DUV/UV 波段,可以作为对于3900 系列波长范围的补充,确保在所有工艺层上的良率相关缺陷侦测均能达到最佳对比...
【加州旧金山 2016 年 7 月 11 日讯】 在美国西部半导体展览会前,KLA-Tencor公司(纳斯达克股票代码:KLAC)今天为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统:3900 系列(以前称为第 5 代)和 2930 系列宽波段等离子光学检测仪、PumaPuma™ 9980 激光扫描检测仪、CIRCL™5 全表面检测套件、Surfscan® ...
“KLTencor 公司今天为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统:3900 系列(以前A-称为第 5 代)和 2930 系列宽波段等离子光学检测仪、Puma9980 激光扫描检测仪、CIRCL5 全表面检测套件、SurfscanSP5XP 无缺陷检测仪和 eDR7280电子束检查和分—类工具。
KLA-Tencor推出晶圆全面检测与检查系列产品应对10纳米良率挑战
摘要:KLA—Tencor公司近日为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统:3900系列和2930系列宽波段等离子光学检测仪、注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社学术咨询 在线咨询 期刊咨询服务,助力升职加薪 立即咨询 中国集成电路 《中国集成电路》(CN:11-5209/TN)是一本有较高学术价值的大型...
KLAA060 6 6.5 152.4 165.1 9740 2930 28090 8450 0.127 KA060AR0 KLAA065 6.5 7 165.1 177.8 10540 3070 30360 8890 0.136 KA065AR0 KLAA070 7 7.5 177.8 190.5 11290 3250 32630 9340 0.145 KA070AR0 KLAA075 7.5 8 190.5 203.2 12090 3380 34850 9740 0.154 KA075AR0 KLAA080 8 8.5 203.2...
摘要: KLA—Tencor公司近日为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统:3900系列和2930系列宽波段等离子光学检测仪关键词:检查系统 KLA 检测仪 产品 晶圆 集成电路制造 离子光学 缺陷检测 年份: 2016 收藏 引用 批量引用 报错 分享 全部来源 求助全文 维普期刊专业版 掌桥科研 维普网 相似文献...
·企业之窗· 电子工业毫用设置■广 KLA—Tenc0r推 出晶 圆全 面检 测 与检查 系列产品应对 1 0纳米良率挑战__上 KLA—Tencor公 司目前在 SEMICON West 2016上 为前 沿集 成 电路制造 推出 了六套 先进 的缺 陷检测 与检查 系统 :3900系列 (以前称为第 5 代 ) 和 2930系 列 宽波 段等离子光学...