JSM-7600F场发射扫描电镜 一、主要部件 JSM-7600F场发射扫描电镜,牛津80mm2电制冷X射线能谱仪(EDS),背散射探头(BSE) 二、主要指标 电子枪:热场发射 二次电子像分辨率:1.5 nm(1 kV,GB模式),1.0 nm(15 kV) 放大倍数:25至1,000,000× 加速电压:0.1至30 kV 束流:1 pA到200 nA(15 kV时) 数字图像:...