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Vol. 50 No. 1, Sept. 2015 • Lorentz TEM Study on Magnetic Skyrmions and Their Dynamics; Quantitative ADF STEM for Catalyst Nanoparticle Metrology • Application of Atomic-Resolution Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy to the Study of Structures of Decagonal Quasicrystals ...
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JBX-9500FS是一款100kV圆形束电子束光刻系统,兼具世界zei高水平的产出量和定位精度,zei大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的掩模版,适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。 此外,由于具有100MHz的zei快扫描速度,场尺寸在1000µm×1000µm时的套刻精度达到±11nm、场拼接精度为±10nm、写场内...