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型号 JEM-F200 加工定制 否 点分辨率 0.19nm 线分辨率 0.10nm 加速电压 20-200kV 加速电压稳定度 0.5ppm/min(峰峰值) 探针电流 2.5nA(@束斑直径0.7nm) 能量发散度 0.3eV 污染速度 低于0.4nm/min 电子枪真空度 10-8Pa 预抽室 有 透镜系统稳定度 1ppm/min(峰峰值) 能谱仪 可选 能量分...