整合制造在一个器件中,即称为静电吸盘。静电吸盘是以静电吸附为基本原理在施 加外部高压后,通过静电吸盘对硅片的库仑吸附力或J-R吸附力来固定硅片的。 本文根据静电吸盘工作机理设计了一款三层型结构静电吸盘(J-R层、电极层、 基底层),并通过各层功能需求选择其制造材料及工艺。基底层选择导热性良好并具 ...