ISO 14644的本部分是根据空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度的等级。只有在0.1μm-0.5μm的阈值(低于阈值)粒径范围内呈累积分布的粒子群体才可供分级用。 ISO 14644的本部分不包含0.1μm-0.5μm规定粒径范围以外的粒子群体的分级。超微粒子(<0.1μm )和大粒子(>0.5μm)可分别以U描述...
Class 1: 每立方英尺空气中粒径≥0.5微米的微粒数量不超过1个。Class 10: 每立方英尺空气中粒径≥0.5微米的微粒数量不超过10个。Class 100: 每立方英尺空气中粒径≥0.5微米的微粒数量不超过100个。Class 1,000: 每立方英尺空气中粒径≥0.5微米的微粒数量不超过1,000个。Class 10,000: 每立方英尺空气中...
ISO 14644-1 洁净室及相关受控环境—第1 部分:空气洁净度的分级(中文版).pdf,前言 ISO 为全球各国标准化团体(ISO 会员团体)的联合会。其国际标准工作 一般是由 ISO 各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感 兴趣,均有权作为此技术委员会的代表。任何
美国联邦标准209E是美国国家航空航天局(NASA)制定的净化空气等级的标准。它与ISO 14644-1类似,将空气质量划分为九个等级,从最高级别Class 1到最低级别Class 100,000。Class 1:洁净室内每立方英尺空气中直径大于0.5µm的颗粒物数不超过1个。Class 10:洁净室内每立方英尺空气中直径大于0.5µm的颗粒物数...
下述定义适用于ISO 14644的本部分 2. 1 通则 2. 1. 1 洁净室 空气悬浮粒子浓度受控的房间、房间的建设和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和滞留粒子,室内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制。 2. 1. 2 洁净区 悬浮粒子浓度受控的限定空间。空间的建设和使用方式要尽可能减少区内引入、产生和滞留...
下述定义适用于ISO 14644的本部分 2. 1 通则 2. 1. 1 洁净室 空气悬浮粒子浓度受控的房间、房间的建设和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和滞留粒子,室内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制。 2. 1. 2 洁净区 悬浮粒子浓度受控的限定空间。空间的建设和使用方式要尽可能减少区内引入、产生和滞留...
Class X (at Y μm )其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)Class 100(0.2μm , 0.5μm )Class...
国际标准ISO 14644-1由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。ISO 14644在洁净室及相关受控环境的总标题下,由下述各部分组成:第1部分:按颗粒浓度对空气洁净度分级第2部分:相关按颗粒浓度对空气洁净度分级为监测洁净室的性能提供证据第3部分:测试方法第4部分:设计、施工和启动第5部分:运行第7部分:隔离装置...
下述定义适用于ISO 14644的本部分 2. 1通则 2. 1. 1 洁净室 空气悬浮粒子浓度受控的房间、房间的建设和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和滞留粒子,室内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制。 2. 1. 2 洁净区 悬浮粒子浓度受控的限定空间。空间的建设和使用方式要尽可能减少区内引入、产生和滞留粒...
表1洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级 ISO等级序数(N) 大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值 (pc/m3空气浓度限值按3.2中的公式计算) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm ISO Class 1 10 2 ISO Class 2 100 24 10 4 ISO Class 3 1 000 237 102 35 8 ISO Class 4 10 000...