挪威标准,关于iso 14644-9 scp的标准NS-EN ISO 14644-9:2012 洁净室和相关受控环境 第9部分:按颗粒浓度对表面清洁度进行分类(ISO 14644-9:2012) 国际标准化组织,关于iso 14644-9 scp的标准ISO 14644-9:2022 洁净室和相关受控环境.第9部分:颗粒浓度的表面清洁度评定 ...
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices (ISO 14644-16:2019)doi:DIN EN ISO 14644-16