誘導結合プラズマ質量分析法(ICP-MS)は、溶液中の元素濃度を最も高感度で多元素同時定量が可能な分析手法で、超微量域での汚染量が重要視される半導体分野などにおいて高いパフォーマンスを発揮します。また、トレーサビリティの確保された標準溶液(液体の標準物質)との比較によって濃度化(定量...