測定対象元素 誘導結合プラズマ質量分析法(ICP-MS)の適用分野 シリコン系及び石英材料 ・シリコン系材料の不純物分析(単結晶、多結晶、SOG級、MG級など):事例2(1) ・石英材料の不純物分析(合成、溶融、人工水晶、硅砂など) ・表層不純物分析(ウエハ、石英製フォトマスク基板など) ...
• 反応性ガスが測定する元素の一部と反応し,その元素の測定でシ グナルロスを引き起こしたり,検出下限を悪化させる. 一方,コリジョンモードでは,主に運動エネルギー弁別 (KED) によ り干渉を除去します.多原子で構成される干渉イオンの断面積は, 単原子である分析対象元素のそれよりも大き...