为验证TQs ICP-MS在半导体硅片样品测试中的稳定性,对扫描液进行加标100ng/L,连续测试两个小时。测试结果表明,半导体所关注的元素在两个小时内RSD值均在5% 以内,证明仪器的稳定性能良好。 赛默飞针对半导体行业不仅可以提供无机元素分析仪器ICP-MS,还能提供离子色谱用于阴离子分析及GC-MS用于厂务气体中挥发性有机物...
硅片经VPD处理后会以溶液的形式被收集,经VPD扫描的硅会在处理过程中与氢氟酸反应被除去,扫描液中硅的含量很低,对仪器没有耐高盐的要求,采用标配iCAP TQs ICP-MS对样品进行分析,测试元素为半导体常规关注元素。分析方法经过Reaction Finder的优化,测试结果真实可靠。 为验证TQs ICP-MS在半导体硅片样品测试中的稳定性,...
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硅片经VPD处理后会以溶液的形式被收集,经VPD扫描的硅会在处理过程中与HF反应被除去,扫描液中硅的含量很低,对仪器没有耐高盐的要求,采用标配iCAP TQs ICP-MS对样品进行分析,测试元素为半导体常规关注元素。分析方法经过Reaction Finder的优化,测试结果真实可靠。 为验证TQs ICP-MS在半导体硅片样品测试中的稳定性,对...
国际标准分类中,icp-ms 光谱涉及到分析化学、水质、有色金属、辐射测量、铁合金、农业和林业、电气工程综合、道路车辆装置、土质、土壤学、食品试验和分析的一般方法、有机化学、黑色金属、无机化学、铺地非织物、塑料、金属矿、废物、纺织产品、石油产品综合、食用油和脂肪、含油种子。在中国标准分类中,icp-ms 光谱...
赛默飞针对半导体行业不仅可以提供无机元素分析仪器ICP-MS,还能提供离子色谱用于阴离子分析及GC-MS用于厂务气体中挥发性有机物的分析。除此之外,赛默飞还为客户提供物理失效分析、电子失效分析等分析仪器。综上赛默飞可为半导体企业提供完整的解决方案,助力中国半导体企业腾飞!