誘導結合プラズマ質量分析法(ICP-MS)の原理 液体などの試料を高温の誘導結合プラズマ(ICP)に導入すると、その中に存在するほぼ全ての元素(原子)は励起してイオンになります。イオン化した原子は質量分析計(MS)で質量数(質量電荷比:m/z)の違いよって分離・選別された後、検出器に到達し...
解説: ICP質量分析装置(ICP-MS)の原理と応用例 1. はじめに ICP質量分析装置(高周波誘導結合質量分析装置、以下ICP-MS)は1980年はじめにHouk、Grayらによって発表されその数年後の1983年に製品化されて以来、約20年経過しており、現在様々な業界で幅広く普及されている。特に半導体業界での利用は多く...
解説: ICP質量分析装置(ICP-MS)の原理と応用例 1. はじめに ICP質量分析装置(高周波誘導結合質量分析装置、以下ICP-MS)は1980年はじめにHouk、Grayらによって発表されその数年後の1983年に製品化されて以来、約20年経過しており、現在様々な業界で幅広く普及されている。特に半導体業界での利用は多く...